铝合金桥式结构,采用重量轻且刚度高的移动部件,以及高性能的运动系统,使HERA SP获得更高的精度和更快的速度。该系列测量机的分辨率为0.1µm,并具有自动温度补偿技术。
速度:
3D定位速度: 0.87m/s
精度:
E= 1.8+ 3.0L/1000µm
数控系统:
	- 
		        CAN-BUS总线,简化线路,全数字化模块,方便检测/升级/维修
 
 
测量软件:
	- 
		       软件开放性好,方便与其它CAD或SPC软件交换数据和程序
 
	- 
		        编程语言丰富,包括元素测量,数据输出,文件操作,算术计算和逻辑运算
 
 
技术规格:
	
		
	
	
		
			| 
				
			 | 
			
				有效行程(mm) | 
			
				仪器尺寸(mm) | 
		
		
			| 
				X | 
			
				Y | 
			
				Z | 
			
				A | 
			
				B | 
			
				C | 
		
		
			| 
				07.07.05 | 
			
				700 | 
			
				700 | 
			
				500 | 
			
				1480 | 
			
				1295 | 
			
				2614 | 
		
		
			| 
				10.07.05 | 
			
				1000 | 
			
				700 | 
			
				500 | 
			
				1780 | 
			
				1295 | 
			
				2614 | 
		
		
			| 
				07.07.07 | 
			
				700 | 
			
				700 | 
			
				650 | 
			
				1480 | 
			
				1295 | 
			
				2914 | 
		
		
			| 
				10.07.07 | 
			
				1000 | 
			
				700 | 
			
				650 | 
			
				1780 | 
			
				1295 | 
			
				2914 | 
		
		
			| 
				12.09.07 | 
			
				1200 | 
			
				850 | 
			
				700 | 
			
				2070 | 
			
				1495 | 
			
				2795 | 
		
		
			| 
				15.09.07 | 
			
				1500 | 
			
				850 | 
			
				700 | 
			
				2370 | 
			
				1495 | 
			
				2795 | 
		
		
			| 
				18.09.07 | 
			
				1800 | 
			
				850 | 
			
				700 | 
			
				2670 | 
			
				1495 | 
			
				2495 | 
		
		
			| 
				12.10.09 | 
			
				1200 | 
			
				1000 | 
			
				850 | 
			
				2070 | 
			
				1645 | 
			
				3145 | 
		
		
			| 
				15.10.09 | 
			
				1500 | 
			
				1000 | 
			
				850 | 
			
				2370 | 
			
				1645 | 
			
				3195 | 
		
		
			| 
				18.10.09 | 
			
				1800 | 
			
				1000 | 
			
				850 | 
			
				2670 | 
			
				1645 | 
			
				3195 | 
		
		
			| 
				20.10.09 | 
			
				2000 | 
			
				1000 | 
			
				850 | 
			
				2970 | 
			
				1645 | 
			
				3195 |