型号:THS-10 品牌:日本UNION 原产地:日本
厚度测量:
测量步骤: 1.在工作台未放置工件时,垂直移动上对焦系统,待两个显示器上都显示对焦准确的符号后,将Z轴计数器归零。
2.放上工件,移动下对焦系统,对工件底部对焦。
3.移动上对焦系统,对工件上表面对焦。上对焦系统移动的距离即为工件的厚度。
技术规格:
型号
测量行程
精度
THS-10
X:100mm Y:100mm
1um(0.1um 可选配)