测量显微镜概念

　　测量显微镜，采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于录象磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试。广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门。工作台除作X、Y坐标的移动外，还可以作360?;的旋转，亦可以进行高度方向做Z坐标的测量;采用双筒目镜观察。照明系统除作透、反射照明外还可以作斜光线照明。仪器进一步可连接CCD电视摄像头，作工件的轮廓放大;亦可连接计算机进行数据处理等测量。

　　测量显微镜分类

　　测量显微镜可分：（1）光学测量显微镜、（2）数码测量显微镜两类。

　　光学测量显微镜

　　采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于录象磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试。广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门。

　　主要优点：工作台除作X、Y坐标的移动外，还可以作360;的旋转，亦可以进行高度方向做Z坐标的测量;采用双筒目镜观察。照明系统除作透、反射照明外还可以作斜光线照明。仪器进一步可连接CCD电视摄像头，作工件的轮廓放大;亦可连接计算机进行数据处理等测量。是一种理想的固定场所小型精密测量仪器。

　　数码测量显微镜

一种将将显微镜看到的实物图像通过数模转换，使其成像在显微镜自带的屏幕上或计算机上的显微镜设备。特别适用于制造业、精密零件以及不方便移动的物件的观察测量。广泛地适用于生产作业线及科学研究等部门。

　　主要优点：小巧便携，只需一台计算机就可以直观的观测微观放大图像，进行精确数据测量、拍照备份图片及数据资料;还可以根据客户需要定制特种光源(荧光、红外)用于特殊场所观测。数码测量显微镜几年来得到广泛的普及使用，已成为一种可靠实用的精密测量仪器。

　　测量显微镜基本原理

　　与STM类似，在AFM中，使用对微弱力非常敏感的弹性悬臂上的针尖对样品表面作光栅式扫描。当针尖和样品表面的距离非常接近时，针尖尖端的原子与样品表面的原子之间存在极微弱的作用力(10-12~10-6N)，此时，微悬臂就会发生微小的弹性形变。针尖与样品之间的力F与微悬臂的形变之间遵循虎克定律：F=-k*x ，其中，k为微悬臂的力常数。所以，只要测出微悬臂形变量的大小，就可以获得针尖与样品之间作用力的大小。

　　针尖与样品之间的作用力与距离有强烈的依赖关系，所以在扫描过程中利用反馈回路保持针尖与样品之间的作用力恒定，即保持为悬臂的形变量不变，针尖就会随样品表面的起伏上下移动，记录针尖上下运动的轨迹即可得到样品表面形貌的信息。这种工作模式被称为“恒力”模式(Constant Force Mode)，是使用最广泛的扫描方式。

　　AFM的图像也可以使用“恒高”模式(Constant Height Mode)来获得，也就是在X，Y扫描过程中，不使用反馈回路，保持针尖与样品之间的距离恒定，通过测量微悬臂Z方向的形变量来成像。这种方式不使用反馈回路，可以采用更高的扫描速度，通常在观察原子、分子像时用得比较多，而对于表面起伏比较大的样品不适用。

　　测量显微镜技术参数

　　基本参数：

　　1、镜筒：粗动：调节范围 90毫米，微动：调节范围2毫米，高(Z)测量：范围1毫米，最小读数0.001毫米(比较测量)，镜筒：双目镜筒 俯角45?;

　　2、工作台：左右(X轴)：移动范围25毫米，前后(Y轴)：移动范围25毫米，分辨率：1微米，旋转：360?;

　　3、照明系统：光源：透射照明，8V12W 蓝、绿色滤光片，反射照明，8V12W 磨沙灯泡、绿色滤光片，斜 照 明，8V12W绿色滤光片，电源：AC220±22V 50/60Hz;

　　4、光学系统：目镜：BWF 10X;物镜：4X、工作距离17.5、焦距28.8，10X、工作距离11.6、焦距15.4，40X、工作距离0.66、焦距4.4;

　　5、X---Y轴测量范围：50×13mm;

　　6、测微器分度值：0.01mm;

　　7、圆工作台角度测量范围：0°/360°;

　　8、仪器测量准确度：仪器示值误差±(5+L/15);

　　9、放大倍数 25×/100×

　　测量显微镜主要特点

　　选购件：下照明/斜照明/成橡系统/显微图像处理系统等等

　　仪器作用：

　　1、直角坐标中测定长度

　　2、旋转度盘测定角度

　　3、用作观察显微镜

　　4、利用微微动载物台之移动，配全目镜之十字座标线，作长度量测。

　　5、利用旋转载物台与目镜下端之游标微分角度盘，配全合目镜之址字座标线，作角度量测，令待测角一端对准十字线与之重合，然再让另一端也重合。

　　6、利用标准检测螺纹的节距、节径、外径、牙角及牙形等尺寸或外形。

　　7、检验金相表面的晶粒状况。

　　8、检验工件加工表面的情况。

　　9、检测微小工件的尺寸或轮廓是否与标准片相符。

　　107JPC测量显微镜，采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于录象磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试。广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门。

　　107JPC为光栅数显的小型精密测量仪器。工作台除作X、Y坐标的移动外，还可以作360?的旋转，亦可以进行高度方向做Z坐标的测量;采用双筒目镜观察。照明系统除作透、反射照明外还可以作斜光线照明。仪器进一步可连接CCD电视摄像头，作工件的轮廓放大;亦可连接计算机进行数据处理等测量。是一种理想的多用途的小型精密测量仪器。

　　测量显微镜主要功能

　　具体功能：

　　● 自动寻边测量功能

　　可根据取点范围，自动识别线、圆、弧，具有极强的去毛边的功能，并极大地提高线距、线夹角、圆半径、弧半径测量精度，避免人工误差。

　　● 几何测量功能

　　线、圆、矩形、多边形、角度等测量工具，对图像上两点距离、线段长度、线距、圆半径直径、面积、角度、矩形、折线、多边形、点线、平行线距的等几何参数进行测量。

　　● 视频处理功能

　　视频的实时播放，暂停，停止功能;

　　自动白平衡，自动曝光功能;

　　视频参数设置功能(RGB设置，gamma调节，曝光设置，偏移量设置等等);

　　视频缩放显示及视频大小控制功能;

　　视频上下、左右反转功能等;

　　视频采集功能，包括静态捕获、原始图像采集

　　● 图像处理功能

　　图像模糊及锐化;

　　亮度/对比度调节;

　　RGB增益调节;

　　多幅图片组合功能，包括图片间逻辑与，逻辑或，叠加等操作;镜像，旋转功能;

　　提取边缘功能;

　　浮雕效果;

　　图像对比功能(即把拍下来的两张或多张图像在同一窗口显示进行比较);

　　图像拼接功能;

　　单独选择图像的某一个部份进行操作。

　　● 图像数据管理与输出

　　图像库浏览、图像标注、文字操作、打印等功能实现;

　　测量图片可存为bmp、jpg格式。

　　测量显微镜主要用途

　　主要使用与电子工业、五金行业、以及一些精密工程，在塑胶行业和医疗业，生物物医学、公安系统等等有广泛的应用，特别是在电子工业比如观察电路板的构造，观察零件直接的精确距离，是不可缺少的精密仪器。

　　测量显微镜发展历史

　　显微镜早在公元前一世纪，人们就已发现通过球形透明物体去观察微小物体时，可以使其放大成像。后来逐渐对球形玻璃表面能使物体放大成像的规律有了认识。

　　1590年，荷兰和意大利的眼镜制造者已经造出类似显微镜的放大仪器。

　　1610年前后，意大利的伽利略和德国的开普勒在研究望远镜的同时，改变物镜和目镜之间的距离，得出合理的显微镜光路结构，当时的光学工匠遂纷纷从事显微镜的制造、推广和改进。

　　17世纪中叶，英国的胡克和荷兰的列文胡克，都对显微镜的发展作出了卓越的贡献。

　　1665年前后，胡克在显微镜中加入粗动和微动调焦机构、照明系统和承载标本片的工作台。这些部件经过不断改进，成为现代显微镜的基本组成部分。

　　1673～1677年期间，列文胡克制成单组元放大镜式的高倍显微镜，其中九台保存至今。胡克和列文胡克利用自制的显微镜，在动、植物机体微观结构的研究方面取得了杰出成就。

　　19世纪，高质量消色差浸液物镜的出现，使显微镜观察微细结构的能力大为提高。

　　1827年阿米奇第一个采用了浸液物镜。

　　19世纪70年代，德国人阿贝奠定了显微镜成像的古典理论基础。这些都促进了显微镜制造和显微观察技术的迅速发展，并为19世纪后半叶包括科赫、巴斯德等在内的生物学家和医学家发现细菌和微生物提供了有力的工具。 在显微镜本身结构发展的同时，

　　显微观察技术也在不断创新：

　　1850年出现了偏光显微术;

　　1893年出现了干涉显微术;

　　1935年荷兰物理学家泽尔尼克创造了相衬显微术，他为此在1953年获得了诺贝尔物理学奖。 古典的光学显微镜只是光学元件和精密机械元件的组合，它以人眼作为接收器来观察放大的像。后来在显微镜中加入了摄影装置，以感光胶片作为可以记录和存储的接收器。现代又普遍采用光电元件、电视摄像管和电荷耦合器等作为显微镜的接收器，配以微型电子计算机后构成完整的图像信息采集和处理系统。目前全世界最主要的显微镜厂家主要有：奥林巴斯、蔡司、徕卡、尼康。国内厂家主要有：江南、麦克奥迪、伟达集团等。